高溫四探針綜合測試系統（包含薄膜，塊體功能）是為了方便的研究在高溫條件下的半導體的導電，該系統可以實現在高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率和外延層、擴散層和離子層的方塊電阻及測量其他方塊電阻。

高溫四探針綜合測試系統符合的標準：

1、符合GB/T 1551-2009《硅單晶電阻率測定方法》

2、符合GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》

最后我們來了解一下高溫四探針綜合測試系統的應用：

1、測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；

2、可測柔性材料導電薄膜電阻率/方阻；

3、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）電阻率/方阻；

4、納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻；

5、電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量；

6、可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。