HCCS-4材料電滯回線測(cè)試探針臺(tái)

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HCCS-4材料電滯回線測(cè)試探針臺(tái)由華測(cè)儀器生產(chǎn)，采用U型針座平臺(tái)，可同時(shí)容納2~4個(gè)CB-100探針座同時(shí)點(diǎn)測(cè)；帶有鎖定旋鈕夾盤，可以附加單獨(dú)的校準(zhǔn)片載臺(tái)；樣品固定采用不低于4″卡盤，采用中間吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均單獨(dú)控制，中間吸附孔下限可以選擇250微米。

產(chǎn)品參數(shù)

臺(tái)體參數(shù)

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸（卡盤X-Y軸無(wú)間隙移動(dòng)）

X-Y移動(dòng)精度：1μm

樣品臺(tái)調(diào)節(jié)：平臺(tái)可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位

顯微鏡參數(shù)

顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉(zhuǎn)式設(shè)計(jì)，便于快速移動(dòng)顯微鏡，顯微鏡移動(dòng)范圍覆蓋樣品臺(tái)；卡盤可做電極引出信號(hào)進(jìn)行雙面測(cè)試

總放大倍率：16倍~100倍

變焦：0.8倍~5倍

CCD：帶CCD接口和0.4XC-mount；下限分辨率至2μm

鏡座：雙目觀察傾斜45°，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍：52~75mm，傾斜360°旋轉(zhuǎn)

X,Y,Z軸方向調(diào)節(jié)范圍：＞50.8mm，調(diào)節(jié)精度小于2μm

工作距離：115mm，加裝2倍輔助鏡工作距離40mm

光源：帶外置LED高亮無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

溫控參數(shù)

溫度范圍：室溫~400℃

分辨率：0.1℃

控溫精度：0.1℃

溫度穩(wěn)定性：±1℃